미세(10um이하) 불량 검출을 위한 COF(Chip On Film) AOI 검사장치

■ 검출 항목 

  1) 검사 구간별 맞춤형 광학계 선정 : Area -> 상하부검사, Line Scan -> HPS, OLB

  2) 가변 광학계 사용으로 1대 카메라에서 n개의 렌즈 사용 효과

  3) 2PF ~ 16PF까지 다양한 크기의 Device 검사 가능

  4) Flexible COF 특성 대응을 위한 4방향 텐션 적용으로 평탄 신뢰성 확보

  5) 1차 검사 알고리즘 검사, 2차 Deep Learning으로 더블 체크